第七百二十四章 調試測驗

光刻機需要工作在超高無塵環境下，剛剛組裝完成的測試樣機正在無塵車間內安裝調試。劉焱換了一身白色防塵服，戴上防塵帽，通過風淋間進入無塵車間。

此時是上午十點左右，處於每天的早班時間，晶圓工廠的四條芯片生產線正在全力運作，數千名工人，正在生產線上，有條不紊的工作。走過生產區域，進入測試區域，以姜安平為首的幾十名研究人員，正圍在一臺一人多高的設備，做最後的調試，旁邊還有幾名維創電子公司的高管站在那裡圍觀。

劉焱湊上前去，朝研發二部部長烏光輝問道：

“這臺就是光刻機研發實驗室製作出的第一臺光刻機嗎？什麼時候能開始光刻測試？”

聽到有人提問，陽威力、金小雅等人同時轉頭看過來，見是老闆劉焱，紛紛打招呼問好，烏光輝出聲給劉焱解釋道：

“對，就是這臺機器，昨天組裝完成之後，第一時間就從研發大樓搬運到了無塵車間，經過一天一夜的安裝調試，現在已經差不多可以開始了。”

劉焱滿意的點點頭，圍著光刻機轉了一圈，這臺設備為全封閉結構，就像一個四四方方的鐵皮文件櫃，外殼噴塗成了乳白色，左右兩側，設置有硅晶圓入口和出口，靠外一側安裝著一個控制面板和一臺大屁股顯示器。

劉焱有些疑惑的問道：

“看外表，我們這臺光刻機似乎和j能、n康的光刻機都不太一樣，這是對外殼進行了優化嗎？”

烏光輝搖搖頭之後說道：

“我們不光優化了外殼，同時也優化了部分內部結構。

老闆你提供的資料裡不是有一部分0.5微米光刻機的預研資料嗎，姜教授他們研發一微米光刻機的時候，參考了0.5微米光刻機的內部結構，對設計圖進行了一些更改優化。

從理論上來說，這些優化對晶圓的加工速度和加工精度，應該都有所提升，實際情況如何，還需要測試過後才知道。”